Высокочастотные устройства ионно-плазменной обработки
ION-BREEZE
Диаметр ионного пучка 100 - 400 мм
Энергия ионов 10 - 250 эВ
Плотность ионного тока 0,5 - 6 мА/см2
Высокочастотные
односеточные ионные источники
со самоскомпенсированным
ионным пучком
Предназначены для использования в процессах ионно-лучевого ассистирования, плазменного травления, очистки, плазмохимического травления, распыления и др.
.png)
PLASMA-CALM
Диаметр области плазмообразования 150 - 450 мм
Плотность плазмы ne до 10^13 см^-3
Энергия электронов плазмы менее 5 эВ
Источники индукционного разряда
для непосредственной и удаленной
плазменной обработки
Источники предназначены для использования в процессах плазменной и плазмохимической обработки.
Высокочастотные системы питания плазменных устройств
HFP Plasma G20
Высокочастотные генераторы
Рабочие частоты: 2; 13,56; 27,12; 40,68 МГц
Рабочая мощность: 500 - 10000 Вт
Выходной импеданс: 50 Ом
Генераторов с абсолютной надежностью при работе на любую газоразрядную, ионно - плазменную нагрузку. Благодаря уникальной системе автоматики с адаптивно регулируемым питанием генераторы могут работать на нагрузку с любым КСВн и любой фазой отражения, включая точки х.х. и к.з.
GLORIA MN
Высокочастотные
согласующие устройства
Рабочие частоты: 2; 13,56; 27,12; 40,68 МГц
Рабочая мощность: 30 - 150000 Вт
Входной импеданс: 50 или 75 Ом
Выходной импеданс: по требованию
Предназначены для согласования емкостных и индуктивных разрядных систем, таких как магнетронные распылительные системы, источники плазмы, ионные источники, системы плазменного осаждения и травления.
Комплектующие вакуумных технологических устройств
Керамические детали
Керамические компоненты вакуумных технологических устройств
Материал: Al2O3,
Температура применения до 1650 degC
Более подробно о продуктах данной серии можно узнать, обратившись в нашу компанию, используя удобный вам способ связи.
Кварцевые реакторы
Кварцевые разрядные реакторы и другие изделия из кварцевого стекла
Кварцевые реакторы для ионных источников серии ION-BREEZE и ION-TYPHOON
Изделия из кварцевого стекла высокого качества, для устройств нашего производства или выполненные по вашим чертежам
Более подробно о продуктах данной серии можно узнать, обратившись в нашу компанию, используя удобный вам способ связи.
Ионно-оптические системы
Ионно-оптические системы (ИОС) для ионных источников
Диаметр апертуры: 100, 140, 200, 250, 300 мм;
Материал: молибден, титан, тантал, графит;
Фокусное расстояние: -100 - +100 мм;
Ионно-оптические системы (ИОС) для ионных источников ION-BREEZE и ION-TYPHOON. Возможно изготовление ионно-оптических систем или отдельно сеток для ионных источников других производителей. Изготовление ИОС с одним или несколькими фокусными расстояниями, из титана, молибдена, тантала.
Более подробно о продуктах данной серии можно узнать, обратившись в нашу компанию, используя удобный вам способ связи.
Вакуумные и воздушные конденсаторы
Переменные и постоянные высокочастотные конденсаторы
Рабочая мощность: 30 Вт - 1000 кВт
Переменные и постоянные вакуумные керамические конденсаторы.
Емкость в диапазоне от десятков до тысяч пико Фарад. Рабочее напряжение от 1,5 кВ до 45 кВ.
Рабочий ток от 15 до 1000 А.
Более подробно о продуктах данной серии можно узнать, обратившись в нашу компанию, используя удобный вам способ связи.