top of page

Высокочастотные устройства ионно-плазменной обработки

ion source

ION-BREEZE

Диаметр ионного пучка 100 - 400 мм

Энергия ионов 10 - 250 эВ

Плотность ионного тока 0,5 - 6 мА/см2

Высокочастотные

односеточные ионные источники

со самоскомпенсированным

ионным пучком

Предназначены для использования в процессах ионно-лучевого ассистирования, плазменного травления, очистки, плазмохимического травления, распыления и др.

electron sourse

E-MONSOON

Электронный ток до  1000 мА

Энергия электронов 5 - 50 эВ

Высокочастотные
источники электронов

Источники электронов предназначены для использования в процессах ионно-лучевого распыления, для нейтрализации положительного заряда ионного пучка.

ION SOURCE

ION-TYPHOON

Диаметр ионного пучка 100 - 300 мм

Энергия ионов 150 - 1500 эВ

Плотность ионного тока до 5 мА/см2

Высокочастотные

сеточные ионные источники

Предназначены для использования в процессах ионно-лучевого ассистирования, распыления, травления, очистки, полировки и др.

inductively coupled plasma source

PLASMA-CALM

Диаметр области плазмообразования 150 - 450 мм

Плотность плазмы ne до 10^13 см^-3

Энергия электронов плазмы менее 5 эВ

Источники индукционного разряда
для непосредственной и удаленной
плазменной обработки

Источники предназначены для использования в процессах плазменной и плазмохимической обработки.

Высокочастотные системы питания плазменных устройств

HF generator

HFP Plasma G20

Высокочастотные генераторы

Рабочие частоты: 2; 13,56; 27,12; 40,68 МГц

Рабочая мощность: 500 - 10000 Вт

Выходной импеданс: 50 Ом

Генераторов с абсолютной надежностью при работе на любую газоразрядную, ионно - плазменную нагрузку. Благодаря уникальной системе автоматики с адаптивно регулируемым питанием  генераторы могут работать на  нагрузку с любым КСВн и любой фазой отражения, включая точки х.х. и к.з.

RF Switch

RF Switch

Коммутаторы нагрузки и распределения питания

Рабочая мощность: 30 - 10000 Вт

Устройство коммутации магнетронной распылительной системой (МРС) между работой на постоянном, импульсном или переменном напряжении и напряжением высокой частоты.

matching network

GLORIA MN

Высокочастотные

согласующие устройства

Рабочие частоты: 2; 13,56; 27,12; 40,68 МГц

Рабочая мощность: 30 - 150000 Вт

Входной импеданс: 50 или 75 Ом

Выходной импеданс: по требованию

Предназначены для согласования емкостных и индуктивных разрядных систем, таких как магнетронные распылительные системы, источники плазмы, ионные источники, системы плазменного осаждения и травления.

Комплектующие вакуумных технологических устройств

Ceramic parts

Керамические детали

Керамические компоненты вакуумных технологических устройств

Материал: Al2O3,  

Температура применения до 1650 degC

Более подробно о продуктах данной серии можно узнать, обратившись в нашу компанию, используя удобный вам способ связи.

quartz reactors

Кварцевые реакторы

 

Кварцевые разрядные реакторы и другие изделия из кварцевого стекла

Кварцевые реакторы для ионных источников серии ION-BREEZE и  ION-TYPHOON

Изделия из кварцевого стекла высокого качества, для устройств нашего производства или выполненные по вашим чертежам

Более подробно о продуктах данной серии можно узнать, обратившись в нашу компанию, используя удобный вам способ связи.

ion optical systems

Ионно-оптические системы

Ионно-оптические системы (ИОС) для ионных источников

Диаметр апертуры: 100, 140, 200, 250, 300 мм;

Материал: молибден, титан, тантал, графит;

Фокусное расстояние: -100 - +100 мм;

Ионно-оптические системы (ИОС) для ионных источников ION-BREEZE и ION-TYPHOON. Возможно  изготовление ионно-оптических систем или отдельно сеток для ионных источников других производителей. Изготовление ИОС с одним или несколькими фокусными расстояниями, из титана, молибдена, тантала.

Более подробно о продуктах данной серии можно узнать, обратившись в нашу компанию, используя удобный вам способ связи.

variable capacitor

Вакуумные и воздушные конденсаторы

Переменные и постоянные высокочастотные конденсаторы

Рабочая мощность: 30 Вт - 1000 кВт

Переменные и постоянные вакуумные керамические конденсаторы.

Емкость в диапазоне от десятков до тысяч пико Фарад. Рабочее напряжение от 1,5 кВ до 45 кВ.

Рабочий ток от 15 до 1000 А.

Более подробно о продуктах данной серии можно узнать, обратившись в нашу компанию, используя удобный вам способ связи.

bottom of page