ION TYPHOON BEAM
ION TYPHOON BEAM

ION TYPHOON
ION TYPHOON

ION TYPHOON
ION TYPHOON

ION TYPHOON BEAM
ION TYPHOON BEAM

1/3

ION TYPHOON

Высокочастотный сеточный ионный источник 

Описание

Источники предназначен для использования в процессах ионно-лучевой очистки и активации, ионного ассистирования, ионно-лучевого распыления, ионной полировки.

Обеспечивает генерацию моноэнергетичного ионного пучка с плотностью ионного тока 0,5-5 мА/см2 и энергией ионов 150-1500 эВ.

Представляет собой ионный источник с двух- или трех- сеточной ионно-оптической системой построенный на базе высокочастотного индукционного разряда. В зависимости от конфигурации ионно-оптической системы, достигается генерация расходящегося (расфокусированного), параллельного (коллимированного), сходящегося (сфокусированного) ионного пучка.

Основные достоинства

- Высокая плотность ионного тока;
- Не вносит загрязнения в подложку;
- Длительное время работы, прост в профилактике;
- Встроенное автоматическое согласующее устройство;
- Простая настройка через коммуникационный порт;
- Возможность поставки полного комплекта блоков питания, включая      контроллер.