ION TYPHOON BEAM
ION TYPHOON BEAM

press to zoom
ION TYPHOON
ION TYPHOON

press to zoom
ION TYPHOON
ION TYPHOON

press to zoom
ION TYPHOON BEAM
ION TYPHOON BEAM

press to zoom
1/3

ION TYPHOON

Высокочастотный сеточный ионный источник 

Описание

Источники предназначен для использования в процессах ионно-лучевой очистки и активации, ионного ассистирования, ионно-лучевого распыления, ионной полировки.

Обеспечивает генерацию моноэнергетичного ионного пучка с плотностью ионного тока 0,5-5 мА/см2 и энергией ионов 150-1500 эВ.

Представляет собой ионный источник с двух- или трех- сеточной ионно-оптической системой построенный на базе высокочастотного индукционного разряда. В зависимости от конфигурации ионно-оптической системы, достигается генерация расходящегося (расфокусированного), параллельного (коллимированного), сходящегося (сфокусированного) ионного пучка.

Основные достоинства

- Высокая плотность ионного тока;
- Не вносит загрязнения в подложку;
- Длительное время работы, прост в профилактике;
- Встроенное автоматическое согласующее устройство;
- Простая настройка через коммуникационный порт;
- Возможность поставки полного комплекта блоков питания, включая      контроллер.