top of page
ION-BREEZE 160
ION BREEZE 80
Ion beem
ION-BREEZE 160
1/4
ION BREEZE
Высокочастотный односеточный ионный источник со самоскомпенсированным ионным пучком
Описание
Источник предназначен для использования в процессах ионно-лучевого ассистирования, плазменного травления, очистки, плазмохимического травления, распыления и др.
Обеспечивает генерацию квазинейтрального (самоскомпенсированного) ионного пучка с плотностью ионного тока 0,5-6 мА/см2 и энергией ионов 10-220 эВ.
Представляет собой ионный источник с односеточной ионно-оптической системой, построенный на базе высокочастотного индукционного разряда.
Основные достоинства
- Самоскомпенсированный ионный пучок, не требует нейтрализатора положительного заряда;
- Высокая плотность ионного тока;
- Гибкость управления энергией ионов;
- Не вносит загрязнения в подложку;
- Встроенное согласующее устройство;
- Простая настройка через проводной интерфейс.
bottom of page