ION-BREEZE 160
ION-BREEZE 160

press to zoom
Ion beem
Ion beem

press to zoom
Ion beem
Ion beem

press to zoom
ION-BREEZE 160
ION-BREEZE 160

press to zoom
1/3

ION BREEZE

Высокочастотный односеточный ионный источник со самоскомпенсированным ионным пучком

Описание

Источник предназначен для использования в процессах ионно-лучевого ассистирования, плазменного травления, очистки, плазмохимического травления, распыления и др.

Обеспечивает генерацию квазинейтрального (самоскомпенсированного) ионного пучка с плотностью ионного тока 0,5-6 мА/см2 и энергией ионов 10-220 эВ.

Представляет собой ионный источник с односеточной ионно-оптической системой построенный на базе высокочастотного индукционного разряда.

Основные достоинства

- Самоскомпенсированный ионный пучок, не требует нейтрализатора положительного заряда;

- Высокая плотность ионного тока;

- Гибкость управления энергией ионов;

- Не вносит загрязнения в подложку;

- Встроенное согласующее устройство;

- Простая настройка через проводной интерфейс.