PLASMA CALM

Высокочастотные источники индукционного разряда для непосредственной и удаленной плазменной обработки

Описание

Источник предназначен для использования в процессах плазменной и плазмохимической обработки в оптическом и полупроводниковом производстве.
Обеспечивает генерацию низкотемпературной газоразрядной плазмы низкого давления в диапазоне 0,05–100 Па, высокой плотности с концентрацией электронов 10E10–10E12 см-3 и степенью ионизации до 3%.
Представляет собой источник индукционного разряда с низкоомной плоской многозаходной спиральной антенной системой.

Основные достоинства

- Низкая энергий электронов и ионов плазмы (Te < 5 эВ; Ti < 0,15 эВ);
- Высокая степень ионизации в некоторых режимах превышающая 3 %;
- Встроенное автоматическое согласующее устройство.

ООО "ФРИДЖИ".

Дата регистрации: 26 июня 2018 года, УНП 193098614,

Юр. адрес: 220040, Беларусь, г. Минск, ул. Некрасова, дом 39 корпус 1, кабинет 438

e-mail: info@freegy.by; тел. +375 (25) 979 07 31; +375 (44) 798 70 08.

  • Instagram
  • LinkedIn - Freegy LLC