Автоматическое согласующее устройство для плазменных индуктивных и емкостных нагрузок, работающих на частоте 13,56 МГц на мощности от 30 до 3000 Вт
Автоматическое согласующее устройство для плазменных индуктивных нагрузок, работающих на частоте 13,56 МГц на мощности от 30 до 3000 Вт
Согласующее устройство для плазменных низкоомных индуктивных и емкостных нагрузок, работающих на частоте 500 кГц на мощности до 150000 Вт
Автоматическое согласующее устройство для плазменных индуктивных и емкостных нагрузок, работающих на частоте 13,56 МГц на мощности от 30 до 3000 Вт
GLORIA
Высокочастотные согласующие устройства
Описание
Высокочастотные автоматические согласующие устройства серии GLORIA предназначены для согласования выходного сопротивления высокочастотного генератора с импедансом нагрузки. Предназначены для работы с такими технологическими устройствами как: магнетронные распылительные системы, источники плазмы, ионные источники, системы плазменного осаждения и травления.
Наши специалисты подберут модель устройства для вашего применения, обеспечат поддержку на этапе установки и настройки.
При необходимости согласующее устройство может быть оснащено релейным модулем для переключения питания нагрузки от постоянного или высокочастотного напряжения. Например, для переключения магнетронной распылительной системы между DC и RF режимами работы без ручной перекоммутации.
Настройка и управление согласующим устройством может осуществляться:
- через внешний программируемый логический контроллер по протоколу ModBus RTU;
- при помощи программного обеспечения GLORIA MB Remote Control через персональный компьютер по протоколу ModBus RTU;
- при помощи пульта управления устройствами согласования серии GLORIA - GLORIA MB RC.
Основные достоинства
- Полностью автоматический и автономный алгоритм согласования импеданса;
- Высокая скорость автоматического согласования импеданса;
- Простая настройка через персональный компьютер или промышленный контроллер;
- Питание от сети 220 В, без дополнительных преобразователей;
- Компактное исполнение.