Описание

Высокочастотные автоматические согласующие устройства серии GLORIA предназначены для согласования выходного сопротивления высокочастотного генератора с импедансом нагрузки. Предназначены для работы с такими технологическими устройствами как:  магнетронные распылительные системы, источники плазмы, ионные источники, системы плазменного осаждения и травления.
Наши специалисты подберут модель устройства для вашего применения, обеспечат поддержку на этапе установки и настройки.
При необходимости согласующее устройство может быть оснащено релейным модулем для переключения питания нагрузки от постоянного или высокочастотного напряжения. Например, для переключения магнетронной распылительной системы между DC и RF режимами работы без ручной перекоммутации.
Настройка и управление согласующим устройством может осуществляться:
- через внешний программируемый логический контроллер по протоколу ModBus RTU;
- при помощи программного обеспечения GLORIA MB Remote Control через персональный компьютер по протоколу ModBus RTU;
- при помощи пульта управления устройствами согласования серии GLORIA - GLORIA MB RC.

Основные достоинства

- Полностью автоматический и автономный алгоритм согласования импеданса;
- Высокая скорость автоматического согласования импеданса;
- Простая настройка через персональный компьютер или промышленный контроллер;
- Питание от сети 220 В, без дополнительных преобразователей;
- Компактное исполнение.