GLORIA-C.3P
GLORIA-C.3P

Автоматическое согласующее устройство для плазменных индуктивных и емкостных нагрузок, работающих на частоте 13,56 МГц на мощности от 30 до 3000 Вт

press to zoom
GLORIA-I10
GLORIA-I10

Согласующее устройство для плазменных низкоомных индуктивных нагрузок, работающих на частоте 2,5 МГц на мощности до 10000 Вт

press to zoom
GLORIA3S
GLORIA3S

Автоматическое согласующее устройство для плазменных индуктивных и емкостных нагрузок, работающих на частоте 13,56 МГц на мощности от 30 до 3000 Вт

press to zoom
GLORIA-C.3P
GLORIA-C.3P

Автоматическое согласующее устройство для плазменных индуктивных и емкостных нагрузок, работающих на частоте 13,56 МГц на мощности от 30 до 3000 Вт

press to zoom
1/5

GLORIA

Высокочастотные согласующие устройства

Основные достоинства

- Полностью автоматический и автономный алгоритм согласования импеданса;
- Высокая скорость автоматического согласования импеданса;
- Простая настройка через персональный компьютер или промышленный контроллер;
- Питание от сети 220 В, без дополнительных преобразователей
- Вариативность конфигурации.

Краткое описание

Предназначены для согласования емкостных и индуктивных разрядных систем, таких как магнетронные распылительные системы, источники плазмы, ионные источники, системы плазменного осаждения и травления с высокочастотными генераторами. Устройство включается в цепь между технологическим устройством и линией передачи, идущей к генератору.
В устройстве согласование импеданс нагрузки преобразуется за счет включения в цепь Г- или П- четырехполюсников на реактивных элементах.
Наши специалисты подберут модель устройства для вашего применения, обеспечат поддержку на этапе установки и настройки. При необходимости согласующее устройство может быть оснащено релейным модулем для переключения питания нагрузки от постоянного или высокочастотного напряжения. Например, для переключения магнетронной распылительной системы между DC и RF режимами работы без перекоммутации.

Начальная настройка и управление согласующим устройством в ручном режиме может осуществляться:

- через внешний программируемый логический контроллер по протоколу ModBus RTU;

- при помощи программного обеспечения GLORIA MB Remote Control через персональный компьютер по протоколу ModBus RTU;

- при помощи пульта управления устройствами согласования серии GLORIA - GLORIA MB RC.