GLORIA-I10
GLORIA-I10

press to zoom
GLORIA3S
GLORIA3S

press to zoom
GLORIA3S
GLORIA3S

press to zoom
GLORIA-I10
GLORIA-I10

press to zoom
1/4

GLORIA

Высокочастотные согласующие устройства

Описание

Предназначены для согласования емкостных и индуктивных разрядных систем, таких как магнетронные распылительные системы, источники плазмы, ионные источники, системы плазменного осаждения и травления с высокочастотными генераторами. Устройство включается в цепь между технологическим устройством и линией передачи, идущей к генератору.
В устройстве согласование импеданс нагрузки преобразуется за счет включения в цепь Г- или П- четырехполюсников на реактивных элементах.
Наши специалисты подберут модель устройства для вашего применения, обеспечат поддержку на этапе установки и настройки. При необходимости согласующее устройство может быть оснащено релейным модулем для переключения питания нагрузки от постоянного или высокочастотного напряжения. Например, для переключения магнетронной распылительной системы между DC и RF режимами работы без перекоммутации.

Основные достоинства

- Полностью автоматический и автономный алгоритм согласования импеданса;
- Высокая скорость автоматического согласования импеданса;
- Простая настройка через персональный компьютер или промышленный контроллер;
- Питание от сети 220 В, без дополнительных преобразователей
- Вариативность конфигурации.