Высокочастотные системы питания технологических устройств
HONOR
Высокочастотные источники питания технологических устройств
Рабочие частоты: 2,64; 6,78; 13,56 МГц
Рабочая мощность: 0,3; 0,5; 1; 2 кВт
Выходной импеданс: 50 Ом
Высокочастотные источники питания для работы на любую газоразрядную и плазменную нагрузку:- реакторы ПХО, ПХТ, РИТ/ПХТ;- ВЧИ / ВЧЕ разрядные системы;- магнетронные распылительные системы, ионные источникы и др.
GLORIA MN
Высокочастотные согласующие устройства
Рабочие частоты: 2; 13,56; 27,12; 40,68 МГц
Рабочая мощность: 30 - 150000 Вт
Входной импеданс: 50 или 75 Ом
Выходной импеданс: по требованию
Предназначены для согласования емкостных и индуктивных разрядных систем, таких как магнетронные распылительные системы, источники плазмы, ионные источники, системы плазменного осаждения и травления.
RF Switch
ВЧ коммутаторы нагрузки и распределения питания
Рабочая мощность: 30 - 10000 Вт
Устройство коммутации магнетронной распылительной системой (МРС) между работой на постоянном, импульсном или переменном напряжении и напряжением высокой частоты.