Вакуумное технологическое оборудование

Технологические устройства:

​

• Высокочастотные сеточные ионные источники. Предназначены для использования в процессах ионно-лучевой обработки материалов: травлении, ассистировании, распылении и др.​

• Ионно-оптические системы для сеточных ионных источников. Выпускаются как для ионных источников собственного производства, так и для источников других производителей.

• Источники индукционного разряда. Предназначены для использования в реактивных плазменных процессах, плазмохимическом осаждении, плазмохимическом травлении и др.​

• Магнетронные распылительные системы. Работающие на постоянном, импульсном, переменном напряжении и напряжении высокой частоты.

• Высокочастотные системы питания плазменных устройств. ВЧ генераторы и ВЧ согласующие устройства. 

Компания Freegy будет рада сотрудничеству в сфере осаждения тонкопленочных покрытий и плазменных технологий, мы предлагаем системы плазменной обработки с возможностью интеграции в существующее оборудование, а также  для самостоятельного монтажа.