Вакуумное технологическое оборудование

Технологические устройства:

​

• Высокочастотные сеточные ионные источники

  • Высокочастотные сеточные ионные источники​

  • ​​Высокочастотные сеточные источники со скомпенсированным ионным пучком

• Комплектующие для вакуумных технологических устройств

  • Ионно-оптические системы​

  • Керамические компоненты и изоляторы

  • Кварцевые реакторы и компоненты

  • Постоянные магниты

  • Керамические вакуумные конденсаторы

• Генераторы плазмы​

  • Разрядные системы на базе ёмкостного разряда

  • Источники индукционного разряда для непосредственной и удаленной плазменной обработки​

• Магнетронные распылительные системы

  • ​МРС на постоянном, импульсном, переменном напряжении и напряжении высокой частоты.

• Высокочастотные системы питания плазменных устройств

  • ​Высокочастотные генераторы

  • Высокочастотные согласующие устройства

  • Устройства для коммутации высокочастотных устройств (например переключения между ВЧ генератором и источником питания постоянного напряжения питающих одну магнетронную распылительную систему)​

Компания Freegy будет рада сотрудничеству в сфере осаждения тонкопленочных покрытий и плазменных технологий, мы предлагаем системы плазменной обработки с возможностью интеграции в существующее оборудование, а также  для самостоятельного монтажа.