Высокочастотные системы питания плазменных устройств

Высокочастотные согласующие устройства

Высокочастотные согласующие устройства серии GLORIA

Предназначены для емкостных и индуктивных разрядных систем таких как магнетронные распылительные системы, источники плазмы, ионные источники, системы плазменного осаждения и травления.

Наши специалисты подберут модель устройства для вашего применения, обеспечат поддержку на этапе установки и настройки. Возможна поставка комплекта оборудования включающего разрядную системы, согласующее устройство и высокочастотный генератор.

Доступные характеристики согласующих устройств серии  "GLORIA" представлены в таблице ниже.

Производитель: ООО "ФРИДЖИ", г. Минск

Высокочастотные генераторы

RF generator.png

ВЧ генераторы HFP Plasma G20

Cерия генераторов с абсолютной надежностью при работе на любую газоразрядную, ионно - плазменную нагрузку. Благодаря уникальной системе автоматики с адаптивно регулируемым питанием  генераторы могут работать на  нагрузку с любым КСВн и любой фазой отражения включая точки х.х. и к.з. в режиме непрерывной немодулированной  мощности неограниченное время без срабатывания защиты. Количество отказов генераторов Plasma всех серий за 5 лет, определенное по факту обращений от эксплуатирующих предприятий, на сегодняшний день   - 0%.

ВЧ генераторы обладают развитым функционалом, интуитивно понятным интерфейсом управления с передней панели на основе цветного графического дисплея, полнофункциональным дистанционным управлением - порт RS485  протокол MODBUS

Доступные модели:

  • ВЧ генераторы   с выходной мощностью 500 (600) W   и  1,0 (1,2) kW.  Воздушное охлаждение. Частота 13,56 MHz, или иные разрешенные частоты. Единый конструктив 2U 400D.

  • ВЧ генераторы  с выходной мощностью 2, 3, 4 и 5 kW.   Жидкостное охлаждение. Частота 13,56 МГц,  или иные разрешенные частоты. Размеры 2U 450D  и  2U 580D.

Производитель: ООО "Мощная радиотехника", г. Воронеж

Устройства для коммутации высокочастотных устройств

Устройство коммутации магнетронной распылительной системой (МРС) между работой на постоянном, импульсном или переменном напряжении и напряжением высокой частоты.

Устанавливается между МРС и согласующим устройством.

Доступны варианты исполнения для одной и более МРС.

Производитель: ООО "ФРИДЖИ", г. Минск

ООО "ФРИДЖИ".

Дата регистрации: 26 июня 2018 года, УНП 193098614,

Юр. адрес: 220040, Беларусь, г. Минск, ул. Некрасова, дом 39 корпус 1, кабинет 438

e-mail: info@freegy.by; тел. +375 (25) 979 07 31; +375 (44) 798 70 08.