Высокочастотные системы питания плазменных устройств
Высокочастотные согласующие устройства
Высокочастотные согласующие устройства серии GLORIA
Предназначены для емкостных и индуктивных разрядных систем таких как магнетронные распылительные системы, источники плазмы, ионные источники, системы плазменного осаждения и травления.
Наши специалисты подберут модель устройства для вашего применения, обеспечат поддержку на этапе установки и настройки. Возможна поставка комплекта оборудования включающего разрядную системы, согласующее устройство и высокочастотный генератор.
Доступные характеристики согласующих устройств серии "GLORIA" представлены в таблице ниже.
Производитель: ООО "ФРИДЖИ", г. Минск
Высокочастотные генераторы
ВЧ генераторы HFP Plasma G20
Cерия генераторов с абсолютной надежностью при работе на любую газоразрядную, ионно - плазменную нагрузку. Благодаря уникальной системе автоматики с адаптивно регулируемым питанием генераторы могут работать на нагрузку с любым КСВн и любой фазой отражения включая точки х.х. и к.з. в режиме непрерывной немодулированной мощности неограниченное время без срабатывания защиты. Количество отказов генераторов Plasma всех серий за 5 лет, определенное по факту обращений от эксплуатирующих предприятий, на сегодняшний день - 0%.
ВЧ генераторы обладают развитым функционалом, интуитивно понятным интерфейсом управления с передней панели на основе цветного графического дисплея, полнофункциональным дистанционным управлением - порт RS485 протокол MODBUS
Доступные модели:
-
ВЧ генераторы с выходной мощностью 500 (600) W и 1,0 (1,2) kW. Воздушное охлаждение. Частота 13,56 MHz, или иные разрешенные частоты. Единый конструктив 2U 400D.
-
ВЧ генераторы с выходной мощностью 2, 3, 4 и 5 kW. Жидкостное охлаждение. Частота 13,56 МГц, или иные разрешенные частоты. Размеры 2U 450D и 2U 580D.
Производитель: ООО "Мощная радиотехника", г. Воронеж
Устройства для коммутации высокочастотных устройств
Устройство коммутации магнетронной распылительной системой (МРС) между работой на постоянном, импульсном или переменном напряжении и напряжением высокой частоты.
Устанавливается между МРС и согласующим устройством.
Доступны варианты исполнения для одной и более МРС.
Производитель: ООО "ФРИДЖИ", г. Минск