Сеточные ионные источники
Компания Freegy предлагает высокочастотные сеточные ионные источники собственного производства.
Источники представлены двумя сериями: ION-BREEZE и ION-TYPHOON.
В источниках данных серий эмиттером заряженных частиц служит газоразрядная плазма высокочастотного индукционного разряда.
Источники серии ION-BREEZE представляют собой ионные источники с односеточной ионно-оптической системой построенные на базе высокочастотного индукционного разряда. Они предназначены для использования в процессах ионно-лучевого ассистирования, плазменного травления, очистки, плазмохимического травления, распыления и др. Обеспечивают генерацию квазинейтрального (самоскомпенсированного) ионного пучка с плотностью ионного тока 2,5-4,8 мА/см2 и энергией ионов 30-350 эВ. Апертура (диаметр ионного пучка) источников данной серии выбирается из диапазона 100-400 мм.
Источники серии ION-TYPHOON - это ионные источники с трехсеточной ионно-оптической системой, эмиттером ионов в которых выступает газоразрядная плазма высокочастотного индукционного разряда. Управление энергией и плотностью ионного тока достигается за счет постоянного напряжения смещения на экстрагирующей и ускоряющих сетках. Предназначены для использования в процессах ионно-лучевого травления, осаждения, ассистирования и др. Обеспечивают генерацию ионного пучка с плотностью ионного тока 2,5-6 мА/см2 и энергией ионов 100-1500 эВ.
Апертура (диаметр ионного пучка) источников данной серии выбирается из диапазона 50-400 мм. Материал сеток ионно-оптических систем: графит, титан, молибден или тантал. Фокусное расстояние выбирается исходя из требований технологического процесса.
Более подробно о продуктах данной серии можно узнать, обратившись в нашу компанию, используя удобный вам способ связи.