Сеточные ионные источники

Graphic2.png

Компания Freegy предлагает высокочастотные сеточные ионные источники собственного производства.

Источники представлены двумя сериями: ION-BREEZE и ION-TYPHOON.

В источниках данных серий эмиттером заряженных частиц служит газоразрядная плазма высокочастотного индукционного разряда.

Источники серии ION-BREEZE представляют собой ионные источники с односеточной ионно-оптической системой построенные на базе высокочастотного индукционного разряда. Они предназначены для использования в процессах ионно-лучевого ассистирования, плазменного травления, очистки, плазмохимического травления, распыления и др. Обеспечивают генерацию квазинейтрального (самоскомпенсированного) ионного пучка с плотностью ионного тока 2,5-4,8 мА/см2 и энергией ионов 30-350 эВ. Апертура (диаметр ионного пучка) источников данной серии выбирается из диапазона 100-400 мм.

Источники серии ION-TYPHOON - это ионные источники с трехсеточной ионно-оптической системой, эмиттером ионов в которых выступает газоразрядная плазма высокочастотного индукционного разряда. Управление энергией и плотностью ионного тока достигается за счет постоянного напряжения смещения на экстрагирующей и ускоряющих сетках. Предназначены для использования в процессах ионно-лучевого травления, осаждения, ассистирования и др. Обеспечивают генерацию ионного пучка с плотностью ионного тока 2,5-6 мА/см2 и энергией ионов 100-1500 эВ

Апертура (диаметр ионного пучка) источников данной серии выбирается из диапазона 50-400 мм. Материал сеток ионно-оптических систем: графит, титан, молибден или тантал. Фокусное расстояние выбирается исходя из требований технологического процесса.

 

Более подробно о продуктах данной серии можно узнать, обратившись в нашу компанию, используя удобный вам способ связи.

ООО "ФРИДЖИ".

Дата регистрации: 26 июня 2018 года, УНП 193098614,

Юр. адрес: 220040, Беларусь, г. Минск, ул. Некрасова, дом 39 корпус 1, кабинет 438

e-mail: info@freegy.by; тел. +375 (25) 979 07 31; +375 (44) 798 70 08.

  • Серый Значок YouTube