ION BREEZE 160
Высокочастотный односеточный ионный источник со самоскомпенсированным ионным пучком
Описание
Источник предназначен для использования в процессах ионно-лучевого ассистирования, плазменного травления, очистки, плазмохимического травления, распыления и др.
Обеспечивает генерацию квазинейтрального (самоскомпенсированного) ионного пучка с плотностью ионного тока 0,5-6 мА/см2 и энергией ионов 10-220 эВ.
Представляет собой ионный источник с односеточной ионно-оптической системой построенный на базе высокочастотного индукционного разряда.
Основные достоинства
- Самоскомпенсированный ионный пучок
- Встроенное согласующее устройство